Posizionamento preciso grazie alle tavole rotanti con cuscinetti ad aria

Con la nuova serie ABRX, Aerotech offre tavole rotanti con cuscinetti ad aria ad alta precisione per la misurazione di superfici su scala nanometrica. Queste tavole rotanti possono raggiungere velocità di rotazione fino a 300 giri/min, minimizzando comunque gli errori radiali e assiali mantenendoli in un range sotto i 25 nm; anche gli errori parassitari sono ridotti al minimo tramite gli assi di rotazione con cuscinetti ad aria.

Aerotech, azienda specializzata in design e produzione di sistemi di precisione per il posizionamento e il controllo del movimento, presenta la nuova serie di tavole rotanti con cuscinetti ad aria per le alte prestazioni, l’ABRX. Al fine di soddisfare la necessità di operare con carichi utili elevati e di disporre di soluzioni compatte, non ingombranti, per l’utilizzo in sistemi o macchine integrate, sono resi disponibili modelli dell’ABRX con diametri di 100, 150 e 250 mm. Questi sono particolarmente indicati per le applicazioni in cui sono richieste elevate prestazioni nei settori dell’ispezione dei wafer, della metrologia ad alta precisione, dell’ispezione ottica e della produzione e della fabbricazione di dispositivi MEMS e di nanotecnologia. Le tavole con le migliori prestazioni hanno prezzi poco accessibili e sono di difficile integrazione nelle piattaforme o nei macchinari con multiassi per via delle loro ingombranti dimensioni. La nuova tavola rotante a cuscinetti ad aria di Aerotech rappresenta una soluzione innovativa ed efficace per le applicazioni in cui è essenziale un’elevata precisione di movimento e posizionamento. Le ampie superfici dei cuscinetti ad aria hanno una precisione di corsa migliore rispetto alle tavole di rotazione meccaniche o ad altre tavole dove vengono adoperati cuscinetti ad aria. Questo nuovo design è particolarmente adatto per chi ha bisogno di un’eccezionale planarità, un’elevata accuratezza angolare e capacità di carico oltre che a bassissimi errori di movimento.

Contenimento degli errori

La nuova serie ABRX è composta da tavole rotanti ad azionamento diretto e possono quindi raggiungere velocità di rotazione fino a 300 giri/min. Un’altra caratteristica che la contraddistingue sono i cuscinetti ad aria che permettono di minimizzare gli errori radiali e assiali mantenendoli in un range sotto i 25 nm. Questi hanno una componente periodica che può essere misurata e quindi compensata, utilizzando una tavola Z in direzione assiale e tavole X-Y in direzione radiale. Gli errori di movimento hanno anche una componente non periodica, difficile da misurare e compensare, che viene considerata come un “rumore”. Nonostante questo, se compensata la componente periodica, gli errori radiali e assiali possono essere portati sotto i 10 nm.
La serie ABRX è particolarmente adatta per misurazioni di superfici su scala nanometrica e naturalmente anche come estensione della collaudata piattaforma di misurazione Aerotech SMP. Gli errori parassitari sono ridotti al minimo tramite gli assi di rotazione con cuscinetti ad aria fornendo la massima qualità del prodotto finito senza un’estesa rielaborazione. Il contenimento degli errori di movimento porta anche a un numero significativamente inferiore di incertezze e fluttuazioni durante il processo. In questo modo, gli utenti hanno il vantaggio di una qualità migliorata in modo sostenibile e quindi anche di una maggiore produttività. La serie ABRX è particolarmente adatta per sistemi di test e ispezione ad alta precisione, nonché per applicazioni inerenti alla misurazione di superfici, inclusa la misurazione di rotondità, planarità, errori di forma o altre variabili misurate in profilometria. Le tavole di rotazione sono utilizzate anche nel campo della tecnologia medica, per esempio per macchinari per la diagnostica come raggi X o TAC.